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激光干涉儀API進(jìn)口美國測量儀

更新時(shí)間:2025-05-21   點(diǎn)擊次數(shù):157次

激光干涉儀API

以 API XD Laser 6D 激光干涉儀為例,從穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù),可記錄精確長度位置;第二束光作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得;第三束光用作裝在 6D 傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

要用于機(jī)床檢測、校準(zhǔn)等領(lǐng)域,可對機(jī)床的定位精度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)進(jìn)行高精度測量和評估,

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